氧化锌厂通过热处理来增强氧化锌中的氮掺杂的研究工作已经展开。使用光致电子顺磁共振技术（EPR），并在空气或者氮气氛下在600-900温度范围内退火，在使用该方法制备的氮掺杂氧化锌晶体中，观察到了氮受主的形成。这一结果的原因是N在热退火过程中替代为浅的施主杂质。
固源化学气相淀积法（SS-CVD）也可以用来氧化锌的N掺杂。二水醋酸锌（Zn（CH3COO）2·2H2O, solid）和（CH3COONH4, solid）分别作为固体源和N源。实验结果的样品显示出P型导电性，空穴浓度为9.8×1017 cm?3，电阻率20Ωcm，空穴迁移率0.97cm2 /V s。
尽管上面报道说已经成功的获得了N掺杂的氧化锌薄膜，但也有相当多的报道，作者没有能够重复这些结果，即使采用相同的生长方式，相同的生长条件和相同的N源。因此，即使认为该报告的结果表明是真正的p型氧化锌，重现这些结果仍是一个大问题，而且这个问题必须得在氧化锌应用于光电子学，如同质结LED和激光二极管（LDs）之前解决。最后，这个问题至少等到高效率注入的ZnO的p - n结才能解决。
