从而确定材料的物相、晶系等，还可利用衍射和高分辨电子显微技术，观察晶体中存在的结构缺陷，确定缺陷的种类，估算缺陷密度。如果TEM带有扫描附件和能量散射X射线谱仪，那么还可以对样品中的元素分布进行分析，确定样品中元素的种类和组分。
TEM的样品多孔载网很小，直径在3 mm左右，所以限定了样品的大小。同样，TEM对样品的厚度也有要求。在常规加速电压为100 kV时，电子的穿透能力不超过200 nm，因此样品一般都极薄(几十纳米)，以便电子束透过样品。如果样品比多孔载网的孔小很多，载网上需要再覆盖一层散射能力很弱的支持膜，目前常用的是碳膜。在高倍TEM的研究工作中，目前发展了一种微栅作为样品载网。
X射线衍射分析(XRD)是鉴别物质晶体结构，进行物相分析的常规手段，可以用来获得样品的晶相结构，如点阵常数、晶粒度、结晶度、结构、内应力和位错等。X射线是一种电磁波，当它射入晶体内部时，晶体中产生周期变化的电磁场。原子中的电子和原子核受迫振动，原子核的振动因其质量很大而忽略不计。振动着的电子产生次生X射线，其波长、周期与入射光相同。基于晶体结构的周期性，晶体中各个电子的散射波可相互干涉相互叠加，称之为衍射。由于晶体原子在空间呈周期性排列，因而这些散射只能在某些方向上叠加而产生干涉现象，造成衍射峰。利用XRD可以获得样品的晶体结构。
用X射线衍射表征氧化锌的结构特性时，常从以下几方面进行分析。
